超高真空系统的烘烤和清洁

目前，由溅射离子泵和钛升华泵组成的真空系统是获得清洁的超高真空的主要泵送装置，并且可以获得小于1.3倍的压力和10 ^ -3Pa的压力。中小型真空系统以溅射离子泵为主泵，大型真空系统以钛热升华泵为主泵。超高真空系统要求真空室的内壁非常干净，零件的表面粗糙度要求高，并且材料的除气量要少。应当严格清洁真空室的部件，并且不要用手触摸部件的表面。真空室的泄漏率也应严格控制。另外，应烘烤真空室。烘烤温度一般为200℃-250℃，烘烤时间为10 hmdash，12h（或加热至350℃-400℃，烘烤4h）。家用溅射离子泵的启动压力为6.7倍，约为10 ^ -1Pa。无论压力有多高，它都不会开始。溅射离子泵组装好后，第二次启动很麻烦。为了加快启动速度，请z *取下磁铁并烘烤泵。烘烤温度为400℃〜500℃，烘烤时间为24h〜30h。泵完全脱气后，很容易启动。在烘烤过程中，烘烤期间释放的气体被预泵连续抽出。溅射离子泵使用一段时间后，可能不容易启动，否则最终真空度会下降。如果不是由于漏气引起的，则可能是由于大气中的水蒸气或机械泵的油蒸气的作用引起的。此时，烘烤措施可以恢复泵的原始性能。如果污染严重且无法恢复性能，则必须拆卸泵，并彻底清洁泵中的零件。超高真空系统真空室的材料主要是不锈钢，这对于清洁不锈钢极为重要。清洁是为了减少不锈钢表面上气体的物理吸附和化学吸附。通过二次离子光谱仪和俄歇光谱仪观察到不清洁的不锈钢表面。主要污染是碳及其化合物，它们是有机物质。因此，使用各种化学溶剂去除表面有机物和碳化物是常见的方法。表15-10和表15-11比较了几种清洗方法以及经过各种处理后不锈钢的典型脱气率。